高純液氧流量計是一種新型流量儀表，采用了新一代流量傳感器，根據流體中插入物體所產生的旋渦個數與流速成比例制成的，輸出與流量成正比的4～20mA電流、脈沖或直流電流輸送到接收儀表。

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純氮、高純氮設備是以空氣為原料，用深冷法制取純氮、高純氮（氣氮、液氮）的設備。

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