
产品介绍: | 设备用于测量硅片的薄层电阻和电阻率,也能测量其他半导体片、膜的薄层电阻和电阻率,且可对扩散、外延、离子注入等工艺设置进行监测和评估,该测试仪还可用于镀膜玻璃行业对金属膜层的薄膜电阻进行测量。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
产品特点: | 1.采用工控机控制、基于WINDOWS98系统平台的测试程序,具有良好的人机界面。 2.可以通过鼠标输入的方式选择测量项目、测量方式、测量方法等测试所需参数,操作简单,方便。 3.根据需要对测量参数进行保存、打印,并可根据所选数据的结果绘制、打印直方图,以满足用户进行数据统计和数据管理等要求的需要。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
技术参数: |
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