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四探针测试仪

D41-11C/ZM型四探针测试仪

产品名称
四探针测试仪
价格
电议
在地区
浙江 杭州 
小起订量1
10
供货能力
50/天
发布时间
2017/12/14 5:16:44
信息来源
杭州雷琪实验器材有限公司
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主营
实验室耗材
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医学仪器

最新产品

产品介绍:设备用于测量硅片的薄层电阻和电阻率,也能测量其他半导体片、膜的薄层电阻和电阻率,且可对扩散、外延、离子注入等工艺设置进行监测和评估,该测试仪还可用于镀膜玻璃行业对金属膜层的薄膜电阻进行测量。
产品特点:1.采用工控机控制、基于WINDOWS98系统平台的测试程序,具有良好的人机界面。
2.可以通过鼠标输入的方式选择测量项目、测量方式、测量方法等测试所需参数,操作简单,方便。
3.根据需要对测量参数进行保存、打印,并可根据所选数据的结果绘制、打印直方图,以满足用户进行数据统计和数据管理等要求的需要。
技术参数:
适用晶片尺寸2"~6"
电阻率(Ω·cm)6E-3~5E4
测量精度(1~100)Ω·cm ≤±3%,高阻、低阻≤±5%
薄层电阻(Ω/□)1E-1~9E5
测量精度(1~1000)Ω/□ ≤±3%,高阻、低阻≤±5%
金属电阻(Ω)3E-2~2E5
测量精度≤±3%
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